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拓峰儀器
Tuofeng Instrument
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  • 臺(tái)階儀 ET4000A,長(zhǎng)沙拓峰機(jī)電設(shè)備有限公司,長(zhǎng)沙拓峰機(jī)電設(shè)備有限公司,長(zhǎng)沙拓峰機(jī)電,長(zhǎng)沙光譜儀,長(zhǎng)沙顯微鏡,長(zhǎng)沙試驗(yàn)機(jī),長(zhǎng)沙分析儀,長(zhǎng)沙無(wú)損檢測(cè)儀,長(zhǎng)沙測(cè)長(zhǎng)機(jī),長(zhǎng)沙三座標(biāo),湖南顯微鏡,湖南試驗(yàn)機(jī),湖南分析儀,湖南無(wú)損檢測(cè)儀,湖南測(cè)長(zhǎng)機(jī),湖南三座標(biāo)
臺(tái)階儀 ET4000A
簡(jiǎn)要說(shuō)明:
是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī).

上一件: 最前一件了
下一件: 臺(tái)階儀 ET200A
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產(chǎn)品詳情

性能特點(diǎn) 

1、高精度.安定性.機(jī)能性卓越適合于 FPD 基板·晶圓硬盤 等的微細(xì)形狀、段差、粗度測(cè)定的機(jī)型; 

2、是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī),針對(duì)用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇; 

3、ET4000A/ ET4000AK 一可實(shí)現(xiàn) 2D/3D 表面形狀測(cè)量; 

4、 ET4000M 一高性能的泛用微細(xì)形狀測(cè)定機(jī); 

5、ET4000L 一對(duì)應(yīng)大型工件的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī); 

6、ET4300 一適合 12"樣品測(cè)量。 

技術(shù)參數(shù) 

1、最大試片尺寸:210x 210mm~ 300x 400mm 

2、重現(xiàn)性:1σ 0.5nm 以內(nèi) 

3、測(cè)定范圍:Z:100um X:100 ~ 305mm (Y 移動(dòng)量:150~ 400mm) 

4、分解能:Z:0.1nm X:0.1um 

5、測(cè)定力:0.5UN~ 500UN (0.05mg-50mg)

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